​超精密零件加（jiā）工在尺（chǐ）寸（cùn）精度、形狀精度、表麵質量等多個方麵都有極其嚴格的要求，以下是具體介紹：
尺寸（cùn）精度
公差範圍極小：超精密零件的尺寸公差通常被控製在微米（mǐ）（μm）甚至納米（nm）級別。例如（rú），在航空航天領域，一些發動機葉片的（de）關鍵尺寸公差可（kě）能要求控製在 ±5μm 以內；在半導體（tǐ）製造中，芯片製造所（suǒ）使（shǐ）用（yòng）的光刻掩膜版的線條寬度公差（chà）可達到 ±10nm 左右。
一致性要求高：對於一批超精密零件，不僅單個零件要滿足高精（jīng）度要求，而且零件之（zhī）間的（de）尺寸一致性也必須極高。以（yǐ）手機（jī）攝像頭中的微型光學鏡片為例，同（tóng）一批次（cì）鏡片的直徑尺寸偏差要控製在極小範圍內，否則會影響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平麵（miàn）度：要求零件的（de）表麵平整度極高，例如，精密光（guāng）學平麵鏡的平麵度可（kě）能要求達到 λ/10 甚至更高（λ 為光的波長，通常（cháng）取 632.8nm），即（jí）平麵的起伏偏差在幾十納米（mǐ）以（yǐ）內。
圓（yuán）度：像航空發動機的渦輪軸等關鍵零（líng）件，其圓度誤差通常要求控製在 0.001mm 以下，以確（què）保在高（gāo）速旋轉時的穩定性和可靠性。
圓柱度：對於一些高（gāo）精（jīng）度的液壓油缸、氣動（dòng）元件等，圓柱度要求嚴格，可能在（zài） 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好的密封性和運動精度。
位置精度
同軸度：在汽車發動機的曲軸加工中（zhōng），各軸頸的同（tóng）軸度誤差一般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否（fǒu）則會影響發動機的動力輸出和穩定性。
垂直度與平行度：在精密（mì）模具製造中（zhōng），模具的上下（xià）模板之間（jiān）的（de）平行度誤差通常（cháng）要求控製在 0.05mm 以內，以保證（zhèng）模具在合模時的精度，從而生產出高質量的產品。
表麵（miàn）質量
表麵粗糙度：超精密零件的表麵粗糙度一般要求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與（yǔ）磁盤的摩擦和（hé）提高讀寫性能（néng），表麵粗糙（cāo）度可能（néng）達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了粗（cū）糙（cāo）度外，還要求表麵無微觀（guān）裂紋、劃痕、毛刺、氧化（huà）層等缺陷。例如在（zài）光學鏡片的加工（gōng）中，表（biǎo）麵（miàn）任何微小的（de）劃痕（hén）或裂紋都（dōu）可能導致光（guāng）線散（sàn）射，影響光學性能。
材料性能一致性
微觀組織均（jun1）勻性：零件材料的微觀組織如（rú）晶（jīng）粒大小、相組成等要均（jun1）勻一（yī）致。以高強度合金鋼製造的航空零部件為（wéi）例，若材料微觀組織不均勻，會導（dǎo）致零件在受力時出（chū）現局部（bù）應力集中，降低零件的整體性能和使（shǐ）用壽命。
性能穩定性：材料（liào）的力學性能、物（wù）理性能等（děng）要（yào）穩定。在電子元器件製造中，用於製造芯片的（de）半導體材（cái）料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數必須在嚴格的範圍內（nèi），否（fǒu）則會影響芯片的性能和可靠性。
裝配精度
間隙配合（hé）精度：在機械手表的機芯裝配中，齒（chǐ）輪與軸（zhóu）之間的間隙配合精度通常要求控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時精度（dù）。
過盈配合精度：在汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中，過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之（zhī）間，確保活塞與活塞銷之間既能傳遞動力，又能在（zài）不同工況下保持良好的工作狀態。